MICROSCOPIE

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fr:protocoles:metallisation

Métallisation

Appareil : EMS 950X/350s

  1. Vérifier que la bleed valve est fermé et que le cylindre d'argon est ouvert
  2. Mettre les échantillons dans un pétri en cercle (voir le patron de déposition)
  3. Allumer les trois sections de l'appareil
  4. Faire start sur la section de gauche et attendre que le temps soit écoulé (5 min)
  5. Ajuste la bleed valve pour 2×10-1
  6. Vérifier les paramètres à droite: polarité négative, 2 minutes
  7. Faire start à droite et ajuster le courant pour ≤ 20 mA
  8. Refaire un 2e 2 minutes (total 4 minutes)
  9. Fermer la bleed valve, faire stop à gauche et attendre “no vacuum” pour sortir les échantillons
  10. Fermer le cylindre d'argon et les trois sections d'appareil
fr/protocoles/metallisation.txt · Dernière modification : 2024/02/12 18:19 de Administrateur

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